復旦大學快速退火爐RTP完成驗收

復旦大學微電子學院從載德半導體技術有限公司采購了兩臺RTP-100快速退火爐，一臺用于快速退火氧化工藝(RTO)，一臺用于快速退火還原工藝。兩臺快速退火爐均為德國UniTemp公司生產，放置在復旦大學張江校區，本月均通過了學校組織的驗收，正式投入科研工作。

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原子層沉積系統的主要功能有哪些呢？

原子層沉積系統在使用之前我們需要了解的知識點也有很多。原子層沉積系統是一種用于化學、材料科學領域的工藝試驗儀器。原子層沉積系統具有熱ALD沉積氧化物、氮化物、貴金屬等薄膜材料的一些功能。

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購買原子層沉積系統時需要注意的幾個問題？

關于原子層沉積系統的一些基本信息相信大家也比較清楚，畢竟我們之前也做了詳細的了解。用戶們在購買原子層沉積系統的時候需要注意的事情也是比較多的，對于這些知識點可能大部分人還不是很清楚吧，為了避免大家買到劣質產品，下面我們來說一下有哪些地方是需要我們注意的，如果你也感興趣的話可以一起來看看的。

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原子層沉積系統的特點有哪些？

原子層沉積系統是在加熱的襯底上連續引入至少兩個蒸汽前驅體源，當表面飽和時，化學吸附自動終止。合適的工藝溫度會阻礙分子在表面的物理吸附?；镜脑訉映练e周期包括四個步驟:脈沖a、清洗a、脈沖b和清洗b，重復沉積周期，直到獲得所需的膜厚，這是制造納米結構以形成納米器件的工具。

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光刻機未來的發展趨勢

光刻機生產廠家要做到未雨綢繆，在生產線有關和街道前提下，還要對下一代光合技術進行研究，現在大規模的集成電路生產主流，光合技術仍然是光系列光刻技術單隨著它的高速發展季末時光刻技術的出現，會使光學光刻技術延伸到45微米甚至更小的節點以內，根據科學人員的預測，下一代光刻技術的主要候選者，應該是機子外光刻技術和納米壓印技術，以及無掩膜的光刻技術。

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光刻機是什么？

光刻機又名掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等。常用的光刻機是掩膜對準光刻。簡單地說，光刻機是制造芯片不可缺少的工具，沒有光刻機，就沒有芯片。

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